台積電布局12吋High NA光罩 法人看好艾司摩爾、資本支出難降

台積電與艾司摩爾推動High NA EUV光罩從6吋升級至12吋，專家指出，大尺寸光罩有助提升生產效率及產能、降低長期製造成本；法人則認為，隨著High NA技術路徑逐步明朗，有利艾司摩爾中長期展望，